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日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

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產(chǎn)品詳情

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介:

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時,須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在須對流量進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。



日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

型號SEC-(質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質(zhì)量流量計(jì))E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型