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日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

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產(chǎn)品詳情

日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。


日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所須的品質(zhì)特性的條件下*底實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。


日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特征：

具有廣泛的用途

追求成本優(yōu)勢、實現(xiàn)成本降低



日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

型號

SEC-

 (質(zhì)量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質(zhì)量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值 
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型